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| Merkmale |
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Horse shoe
mit Scanner |
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- Für Wafergrößen bis 12" (300 mm)
- Modulares Konzept
- Geringes Eigengewicht
- Hohe Steifigkeit
- Günstiges Preis/Leistungsverhältnis
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| Optionen |
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Horse Shoe
ohne Scanner |
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- Diverse Wafer Mapping Sensoren
- Verschiedene Oberflächen-beschichtungen
- Sonderausführungen
- Pocket EE
- Friction Wafer
- Edge Grip EE
- Exclusion zone Grip EE
- Exclusion zone Vacuum EE
- Multiple EE
- Thru Beam EE
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Exclusion Zone
Vacuum
mit Scanner |
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Edge Grip
mit Scanner |
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Double mit thru beam Scanner |
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| Zubehör - Vacuum Control |
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- Hohes Ansprechverhalten
- Frei Programmierbar
- Auflösung von 0.001 bar
- Eingebaute Endeffector
- Zweifarbige Anzeige
- Bei allen Vakuum Endeffectoren einsetzbar
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Endeffektoren - Serie IEE
