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Dreiachs-
Prealigner LPA Serie mit
seitlichem Anschlussfeld
und PEEK Pin/Chuck
Einachs-
Prealigner LPA Serie mit
rückseitigem Anschlussfeld |
| Merkmale (Dreiachs-Prealigner) |
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- Innovative All-in-One-Konstruktion
- Ausrichtzeiten <3,5 Sekunden
- Wiederholgenauigkeiten
linear. ±0,025 mm, zirkular ± 0,05°
- Berührungslose Messung mittels LED und CCD-Sensor
- Integrierte Scan-Elektronik
Standalone-fähig
- Chuck- oder Pinload sowie Wechsel auf eine andere Wafergröße ohne Umbau
- Transparente, halbtransparente, gelochte und undurchsichtige Wafer ausrichtbar
- SEMI, Flat und Notch Wafer-Spezifikationen
- Für Wafergrößen von 2" bis 12"
- Anschlussfelder seitlich und von unten lieferbar
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| Merkmale (Einachs-Prealigner) |
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- Ausrichtzeiten <2,5 Sekunden
- Berührungslose Messung mittels LED und CCD-Sensor
- Integrierte Scan-Elektronik
- Chuck Load
- Wechsel auf eine andere Wafergröße ohne Umbau
- Transparente, halbtransparente, gelochte und undurchsichtige Wafer ausrichtbar
- SEMI, Flat und Notch Wafer-Spezifikationen
- Für Wafergrößen von 3" bis 12"
Anschlussfelder seitlich und von unten lieferbar
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Beschreibung
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Die Prealigner der Serie LPA sind eine innovative, hoch präzise, Klasse 1 reinraumkompatible Prealigner-Lösung mit integrierter Scan-Elektronik.
Die Prealigner werden von Logosol Inc.USA entwickelt und produziert und isel Germany AG ist der autorisierter exklusiv Distributor für Europa.
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| Vertrieb USA |
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| Produktschlüssel |
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 Abbildung: Prealigner Produktschlüssel |
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Prealigner - Serie LPA
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