Produkte  Wafer-Handler Vacuum Elevetor |
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Vacuum Elevetor
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Merkmale
- Klasse 1-reinraumkompatibel
- Absolut-Encoder
- Wiederholgenauigkeit: 0.001“
- Maximum Vertikal Hub: 406 mm (16“)
- Maximum Vakuum: 1.0x10 Torr
- AC Servo Motoren
- Gewicht: 18,2 kg (40 Ibs)
- Nutzlast: 5,5 kg (12 Ibs)
- Oberfläche: Aluminium, rostfreies Stahl
- Kassettenerkennungssensor
- Z-Hub: 304.8 mm (12“)
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Abb.:
Vaccum Elevator |
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 Weitere Informationen, Datenblätter sowie technische Dokumentationen auf Anfrage. |
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