Produkte Wafer-Handler Vertical Roboter - Serie IVR
Wafer-Handling
Vertical Roboter - Serie IVR
Ausgezeichnete bauliche Steifigkeit
Maximale Geschwindigkeit >1 m/s
Z-Achsen bis zu 3.000 mm
Optimale Beschleunigungswerte
Einfache Anbindung externer Peripherien
an die Robotersteuerung
Echtzeit-Bewegungssteuerung
Sehr ruhiges Laufverhalten
Bürstenlose, wartungsfreie Servomotoren
mit geringem Trägheitsmoment
Spielfreie Harmonic Drive® Getriebe
Verschiedene Kommunikations-Schnittstellen
MTBF > 50.000 Stunden
Beschreibung
Die Vertical Roboter der IVR-Serie repräsentieren
ein hochwertiges, kompaktes Design.
Durch ausgewählte Komponenten und die Reduktion der Teileanzahl ist ein sehr steifes und dynamisches Robotersystem erreicht worden.
Diese neuartige Handlinglösung eignet sich zum Handhaben von Wafern und anderen Substraten. Extrem reaktionsfähige bürstenlose Motoren, gekoppelt mit direkt angetriebenen Harmonic Drive® Getrieben garantieren präzise und störsichere Armbewegungen.
Die verwendete, externe Servosteuerung mit 32-Bit-Echtzeit-Kernel erlaubt eine nahtlose Integration von Verfahrachsen und sonstigen Peripherien. Diese Steuerung liefert ein ruhiges Laufverhalten entlang multipler Pfadsegmente.
Die Steuerung unterstützt RS-232, RS-485, Teach Pendant und Ethernet-Schnittstellen.
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Beispiel:
Kundenlösung mit 1200 mm Achslänge und seitlich platziertem Achsmodul
Weitere Informationen, Datenblätter sowie technische Dokumentationen auf Anfrage.
Wafer-Handler 
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