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Produkte Wafer-Handler IWH F-3
 
Wafer-Handling Roboter

IWH F-3 mit Dual Arm
 
Merkmale

  • Ausgezeichnete bauliche Steifigkeit
  • Handhabung von Wafern bis zu 300 mm
  • Höchste Zuverlässigkeit und Genauigkeit
  • Einfache Anbindung eines Linear Track and die Robotersteuerung
  • Echtzeit-Bewegungssteuerung
  • Sehr Laufruhig
  • Bürstenlose, wartungsfreie Servomotoren mit geringem Trägheitsmoment
  • Spielfreie Harmonic Drive® Getriebe
  • Absolut- Encoder
  • Vielfältige Kommunikations-Schnittstellen
  • Klasse 1-Reinraumkompatibel
  • MTBF: > 50.000 Betriebstunden
  • Inklusive Robot Control Center (RCC)
  • Made in Germany
 
  Abb.:
IWH F-3
 
 
 
Wiederholgenauigkeit T ±0,02°
R ±0,03 mm
Z ±0,03 mm
Arbeitsbereich Z 13” (330.2 mm)
radial 14.4" (365.8 mm)
theta 450°
Nutzlast Gelenk   max. 1.25 kg /arm
 
max. Geschwindigkeit T 360°/s
R 1.100 mm/s
Z 425 mm/s
Netzanschluss 110 / 230 V AC
Leit-Schnittstelle RS-232 [DB9],
Option: Ethernet [RJ-45]
Schnittstelle für Peripherien RS-485 [RJ-45], RJ-11
 
Weiteres Informationsmaterial auf Anfrage Weitere Informationen, Datenblätter sowie technische Dokumentationen auf Anfrage.
 

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