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Produkte Wafer-Handler IWH TA10S10 HD F-1
 
Wafer-Handling Roboter

IWH F-1 in Heavy Duty-Ausführung mit 2-Link Arm
 
    Wafer Handling Roboter
  Merkmale

  • ausgezeichnete bauliche Steifigkeit
  • Höchste Ausfallsicherheit und Präzision
  • Optional oben montiert (TA) oder unten montiert (BA)
  • Kundenspezifische Anpassungen möglich
  • Absolut (digital) oder inkremental Encoder
  • Einfache Anbindung von Prealigner, Linear Track und anderen Peripherien an die Robotersteuerung
  • Optional High-End Controller zum kontrollieren von komplexen Systemen
  • Inklusive Robot Control Center (RCC)
  • Klasse 1-reinraumkompatibel
  • Made in Germany
    Abb.:
IWH TA10S10 HD F-1
     
   
Wiederholgenauigkeit T ±0,02°
R ±0,03 mm
Z ±0,03 mm
Arbeitsbereich Z 10", 13", 17"
radial 10", 12",14", 16",20"
theta 450°
Nutzlast Gelenk   2,75 Kg
max. Geschwindigkeit T 360°/s
R 1000 mm/s
Z 450 mm/s
Netzanschluss 110 / 230 V AC
Leit-Schnittstelle RS-232 [DB9],
Option: Ethernet [RJ-45]
Schnittstelle für Peripherien RS-485 [RJ-45], RJ-11
       
Weiteres Informationsmaterial auf Anfrage Weitere Informationen, Datenblätter sowie technische Dokumentationen auf Anfrage.
 

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