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Wafer-Handler



	-IWH F-1 mit 2 Link Arm Heavy Duty-Ausführung mit 2-Link Arm mit 3-Link Arm in Heavy Duty-Ausführung
			Abb.: IWH TA10S10 F-1

	- IWH F-2 mit 2-Link Arm und Heavy Duty-Gehäuse mit 2-Link Heavy Duty-Gehäuse/Arm mit 3-Link Heavy Duty-Gehäuse/Arm
			Abb.: IWH TA13S10 F-2

	- IWH F-3 mit Dual Arm
			Abb.: IWH F-3

	- IWH F-5 Vacuum Robot Vacuum Elevator
			Abb.: Vaccum Robot

	- Vertical Roboter iVR
			Abb. Vertical Roboter Serie IVR

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